Detecting Not Covered Wafer -- Detecting Not Covered Wafer --
§ 目的
計算晶圓(片)面積
§ 過程
描述一組或單一的晶圓(片)影像
§ 結果
不包括涵蓋範圍，計算未涵蓋面積的百分比
§ 提示
本範例顯示的 Blob 分析技術的使用
該解決方案應該包括以下的步驟 :
- 提取晶圓(片)區域
- 提取涵蓋區域
- 計算未覆蓋涵蓋區域
計算的未覆蓋區域涵蓋區域的最佳方法是使用公式
§ 解決方案
1. "EnumerateFiles" filter and "LoadImage" filters 呼叫影像
2. "ThresholdToRegion" filter 設 inMax 為 250 和 inMinValue 為 Auto，找出晶圓，這些值是被允許從對比背景(背光)中取得
3. 所選的是樣品範圍中最暗的部分，要提取該樣品的邊緣段， 利用"ThresholdToRegion" filter 的 inRoi 降低到之前找到區域。該 filter 應選擇只有黑暗部分，設 inMinValue 為 Auto 和 inMaxValue 為 102
4. "RegionArea" filters 計算每個區域的面積
5. 計算面積的未覆蓋百分比，建立 "RegionArea" filter 輸出入連接 "Fromula" filter 的一個新的公式
6. 呈現結果在預覽視窗中
§ 附註
建立一個公式，將自動計算涵蓋部分，它會用它來檢測晶片的未涵蓋部分。
§ Main macrofilter finds the uncovered layer of chocolate using the Blob Analysis technique
